Politechnika Wrocławska		Piotr Niwa	Wydział Elektryczny Grupa 1 Rok akademicki 2011/2012
LABORATORIUM PROCESÓW TECHNOLOGICZNYCH W PRZEMYŚLE
Data ćwiczenia: 22,04,2012 Nr ćwiczenia 2	Temat: Parowanie przy pomocy wiązki elektronowej			Ocena:

1. Cel ćwiczenia

zapoznanie się ze zjawiskami zachodzącymi podczas procesu parowania próżniowego wiązką elektronową,

wykonanie naparowania cienkiej warstwy

2. Spis przyrządów

• wyrzutnia elektronowa

• próżniomierz

3.Opis wykonania ćwiczenia

Próbki zostały wcześniej przygotowane i umieszczone w komorze więc nie musieliśmy ich czyścić

Do uzyskania próżni użyliśmy 3 pomp

Kaskada:

Pierwsza pompa wydajność 5000l/s

Druga pompa wydajność 500l/s

Trzecia to pompa obrotowa.

Przy ciśnieniu 3,5*10-² Nastąpiło przełączenie na pompę dyfuzyjną

Przy ciśnieniu 1*10-² nastąpiło załączenie wysokiego napięcia

Prąd wiązki 0,1A Napięcie przyspieszające 6kV

Po procesie parowania nastąpiło wyłączenie pompy próżni wysokiej i zapowietrzenie komory a następnie oszacowanie grubości i barwy otrzymanej próbki oraz sprawdzenie przyczepności warstwy do podłoża

4.Schemat układu

5.Wnioski

W przeprowadzonym ćwiczeniu uzyskana przez nas warstwa cyny posiadała mleczną barwę, była słabo utleniona, cienka, łatwo ścieralna, co wynikało ze zbyt szybkiego wyjęcia próbki z komory lub zbyt niskiej próżni.

Należy pamiętać, że jakość warstwy zależy od:

- wysokości próżni: im wyższa próżnia, tym czystszy materiał,

- gazów resztkowych: im mniej gazów tym lepiej,

- od sposobu przygotowania podłoża i rodzaju podłoża.

Aby polepszyć właściwości przyczepne podłoża, należy poddać go dokładnemu oczyszczeniu alkoholem.

---