Projekt

Maska 1

Nasza struktura (rysunek zrobię później w CADzie)

tgϴ = $\frac{370 - 20}{k}$ = $\sqrt{2}$

k=250μm

całkowita długość struktury (bez obrzeży)

a = 2*k + a0 = 500+1000 = 1500 μm

z obrzeżami

a+300 = 1800 μm

sprawdzenie czy nasza struktura ma prawo istnieć

tgϴ = $\frac{370}{x}$ = $\sqrt{2}$

k=260μm

$\frac{x}{0,5*1000}$ = 710

Maksymalne naprężenia dla 300kPa

σmax = $\frac{0,308*P*a^{2}}{h^{2}}$ = $\frac{0,308*300k*1000^{2}}{20^{2}}$ = 2,4*10⁸ Pa

Ѡ = $\frac{0,0138*P*a^{4}}{{E*h}^{3}}$ = $\frac{0,0138*300k*{a1000}^{4}}{{190*10^{9}*20}^{3}}$ = 2,7*10⁻⁶m

Fotolitografia

T= 1100C

Dyfuzja doprowadzeni = ???