Sensory:

1. Mikrosensor ciśnienia - ciśnienie działające na sensor powoduje wytworzenie ładunku elektrycznego z piezo elektryka w ten sposób otrzymujemy sygnał napięciowy będący miarą ciśnienia.

2. Mikrosensor przyspieszenia - Pomiar parametrów ruchu postępowego i obrotowego

-Systemy alarmowe

-Pomiar trajektorii ruchu poruszających się obiektów

-systemy nawigacji lotniczej

-wykrywanie kolizji poruszających się obiektów

-(współpraca z układem wyzwalania poduszki

-powietrznej w pojazdach samochodowych)

-Systemy nawigacji satelitarnej GPS

-Pomiary drgań maszyn przemysłowych

-Poprawa charakterystyk głośników

-Komputerowe urządzenia peryferyjne: mysz, joystick

3. Termopary:

Termopara (termoogniwo, termoelement, ogniwo termoelektryczne) to czujnik temperatury wykorzystujący zjawisko Seebecka, będący połączeniem dwóch różnych metali .

Składa się z dwóch różnych metali (drucików), spojonych na jednym końcu (strona pomiarowa). Pod wpływem różnicy temperatury powstaje siła elektromotoryczna zwana w tym przypadku siłą termoelektryczną na końcach niepołączonych (zimnych) proporcjonalna do różnicy temperatur pomiędzy temperaturą spoiny pomiarowej, a temperaturą spoin odniesienia (zimnych, wolnych końców). Spoina pomiarowa może znajdować się w obudowie, którą następnie instalujemy w miejscu pomiaru temperatury. Termopary odznaczają się dużą niezawodnością, dokładnością i elastycznością konstrukcji, co pozwala na ich zastosowanie w różnych warunkach.

Materiały wykorzystywane do budowy termoelementów powinny w miarę możliwości posiadać:

• wysoką temperaturę topnienia,

• dużą odporność na czynniki zewnętrzne,

• małą rezystywność,

• wysoką temperaturę pracy ciągłej,

• mały współczynnik cieplny rezystancji,

• niezmienność parametrów w czasie.

4. Mikrosensory chemiczne - pomiędzy dwie płytki dostaje się badany gaz lub inna substancja, jedna płytka jest aktywna druga pasywna, w wyniku przepływu substancji zmienia się pojemność takiego kondensatora, zmienia się rezystancja, napięcie i natężenie prądu. Elektroda aktywna przyciąga tylko daną substancje gdyż pokryta jest specjalną substancja która reaguje tylko z konkretnym związkiem chemicznym.

Zjawisko Tunelowania

Zjawisko tunelowe zwane też efektem tunelowym - zjawisko kwantowe przejścia cząstki przez barierę potencjału o wysokości (wartości energii potencjalnej) większej niż energia cząstki. Ruch przez barierę (obszar, w którym E − U(x) < 0) jest zabroniony. W mechanice kwantowej jest możliwe przeniknięcie przez barierę z pewnym określonym prawdopodobieństwem. Prawdopodobieństwo to określa równanie falowe Schrödingera mechaniki kwantowej.

Zjawisko to jest wykorzystywane w:

STM - mikroskop tunelowy

AFM - mikroskop sił atomowych

Metody obróbki w MEMS:

1. Mikro EDM - drążenie elektroerozyjne gdy narzędzie jest anodą a przedmiot obrabiany jest katodą lub osadzanie przy odwrotnej polaryzacji obróbka odbywa się w środowisku cieczy jonizującej się w obrębie wyładowań elektrycznych z narzędzia,

2. Mikro WEDM - cięcie drutem o odpowiedniej średnicy w atmosferze wody destylowanej,

3. Mikro ECM - drążenie za pomocą wyładowań elektrycznych odbywających się w roztworach soli, możliwa obróbka tylko przedmiotów przewodzących prą elektryczny,

4. Metoda LIGA -

5. Mikro Skrawanie - wiercenie otworów, mikro frezowanie

6. LBM - laser bin machine, obróbka za pomocą lasera,

7. Hybrydy powyższych rozwiązań.

Aktuatory:

Aktuatorem (ang. actuator) nazywamy urządzenie, które umożliwia

wykonanie pewnej pracy poprzez przetworzenie sygnału

sterującego w postaci wielkości elektrycznej na sygnał innego typu.

- mikrosilniki

- mikropompy

Na czym polega efekt piezoelektryczny:

Zjawisko fizyczne polegające na mechanicznej deformacji kryształu pod wpływem zewnętrznego pola elektrycznego (zjawisko piezoelektryczne odwrotne), a także: na powstawaniu na przeciwległych ścianach kryształów ładunków elektrycznych przeciwnego znaku w wyniku deformacji kryształu (zjawisko piezoelektryczne proste). Piezoelektryczność występuje w tych kryształach, które nie mają swojego środka symetrii, np. w kryształach kwarcu. Materiały takie nazywane są piezoelektrykami.

Zastosowanie MEMS:

- medycyna mikro technologie typu: pigułki do gastroskopii, stenty naczyniowe, roboty medyczne,

- przemysł samochodowy czujniki przyśpieszeń, mechanizmy do otwarcia poduszek powietrznych,

- przemysł wojskowy zapalniki pocisków, diagnostyka stanu żołnierza na polu bitwy, nowoczesne sterowanie lotem samolotu,

- mikro czujniki laboratoryjne do wykrywania obecności substancji toksycznych,

- płaskie monitory oparte na diodach OLED,

- rzutniki,

- mikroturbiny gazowe,

- mikro silniki spalinowe dają bardzo dobre wyniki(stosunek spalonego paliwa do mocy wytworzonej przez silnik).

---