Niskie temperatury otrzymywania (T = -770*320 K) pozwalana wytworzenie w tych materiałach dwóch faz. a mianowicie: amorficznej typu SijN*» nanokrysta-lictnei typu MUN.
Rys. 117 Zolrtaofc mfcria » funkcji md- Ry% klk Ztkmrti miehtśń ******* * kości mrcn dla wybranych materiałów nano- iwmkrici w funkcji zawartości fazy a-SnN4» kwnptvytow>xb w ponoci cienkich «v*w. njnoketnpo/rac typu TiN/o-SyN* |22| otrzymanych w różnych warunkach: HF - prąd umenny o wvwkiej częstotliwości. DC-pud
Rysunek 8.18 przedstawia zależność wielkości krystalitów i twardości w funkcji zawartości fazy a-Si^N* w warstwach TiN/a-SijNa Wraz ze wzrostem zawartości a-SijN4 wielkość krystalitów TiN maleje, osiągając wartość minimalną dla -20% i potem wzrasta ponownie. Przy minimalnej wielkości krystalitów (d ' 4 nm) w cienkiej warstwie twardość osiąga maksymalną wartość. HV • = -50GP».
4. lane nanokompozyty z osnową ceramiczną
Przykłady innych materiałów nanokompozytowych z osnową ceramiczną zestawiono w tabeli 8.13. Fazy takie, jak np. SiĆ. TiN. TiC. TiO;. ZrOj. Cr jCj oraz Ni. Mo lub W mogą również znaleźć zastosowanie do produkcji aaaokompozytów na bazie: AljOj i SijN* SiAION-u [3.19,23J.
Z wyszczególnionych w tabeli nanokompozytów ciekawy wydaje się materiał typu MgO/SiC, dla którego zaobserwowano wzrost krytycznego współczynnika intensywności naprężeń z 1.1 do 4.0 MPa • m': (tab. 8.14). Kompozyt MgO/SiC zawierający więcej niż 10% obj. SiC. w temperaturach wyższych od 1470 K. charakteryzuje się wytrzymałością na zginanie powyżej 550 MPa. Długość mikropęk-nięcia (parametr c) określono dla różnych zawartości SiC w MgO. korzystając z prawa Griffitha [19]:
(8.3)