1E8

Apertura - Aperturę stanowią niewielkie otwory, poprzez które musi przedostać się wiązka. Apertura jest usytuowana w płaszczyźnie obrazowej i określa wielkość obrazu. Obecność apertury ogranicza występowanie abberacji. Dla każdego natężenia wiązki istnie optymalna apertura, która minimalizuje wpływ abberacji na wielkość końcowej plamki wiązki.

Figurę 2-3. The finał aperture limitu beam current and reduces the effecls of lais aberrations. For any set of lens conditions.

there is an aperture size that opiimizes the trade pff between beam current and spot size. Larger beam currents repuire larger apertures.

/

bduM Ojr

tlKWn S«ww

|C«t»vtO

»m*0# ot Souru

(d*negn**l)

(irtw detregnAed)

incrMMO

Ow*fp*io#

Cnromatic Abtrrtbon SptwrfcU Afc«rr*b©«

Column Optics

Lervs Aberrations

-