1F2

Skład próbki - skład próbki wpływa zarówno na głębokość jak i kształt objętości oddziaływania. Gęstsze próbki ograniczają ^penetrację wiązki i odległość przemieszczania sygnału zanim zostanie zaabsorbowany. Wynikowa objętość oddziaływania będzie bardziej powierzchowna i półkolistego kształtu.

Tvp sygnału - Można podzielić objętość oddziaływania na zakresy związane z różnymi typami sygnałów.

Elektrony wionie są elektronami, które zostały wyrzucone wskutek oddziaływania z elektronami pierwotnymi. Mają bardzo małą energię (mniejszą niż 50 eY). Dlatego one mogą wydostać się tylko z bardzo płytkich regionów próbki. Jednakże powstaje dzięki mim najleps rozdzielczość. Kontrast obrazu powstający z elektro] wtórnych przedstawia topografię próbki.