skany008

9

z koncentracją (2.3) przy warunkach brzegowych F(.r=0)=0 oraz V(x d)=y/_(riii) (wpO) otrzymamy zależność na szerokość warstwy ładunku przestrzennego po stronie słabiej zdomieszkowanej

( + 2

(2.5)

_d Jć-,go(.v + 2Xy/₀ -u,,)

L    <ł^N o

oraz pojemność złącza o przekroju zł

⁷ dii

= A

o

Łatwo zauważyć, że 1

m =

s + 2

qN₀(£_s£_{)y^+l (s + 2'Xi//₀ - u_n)

.s+2

«('/'o - «£>)“

(2.6)

(2.7)

Współczynnik potęgowy /w wyraża czułość napięciową zmian pojemności złącza

^m Cj ilu i) d(\gu_D)    (2.8)

Dla rozkładu skokowego ,s’=0 i otrzymujemy m=l/2, dla liniowego 1 i m=l/3 (rys.2.2)

Q

Pomiary pojemności złączowej pozwalają określić szereg istotnych parametrów konstrukcyjnych złącza. Uogólniając zależność (2.6) dla dwóch stron złącza skokowego (a^-=0), rozważanego jako kondensator płaski o stałej grubości, określonej szerokością warstwy ładunku przestrzennego cl i powierzchni A, można wykazać, że, że jego pojemność wynosi

_{r =    =} A Efo _

^J d I 2    y/₀ -u_D (2.9)

Rys.2.1. Typowe zależności (' ({u_u -i/_t)} dla różnych profilów domieszkowania złącz

gdzie :    N* = N_AN,y(N_A+N_D), -

koncentracja efektywna, przy czym M_A -koncentracja akceptorów w p-obszarze złącza oraz N_D - koncentracja donorów w n-obszarze (rys.2.1).