Wysokoenergetyczna część widma pierwotnego przyczynia się do powstania promieniowania wtórnego (rozproszenia) wpływając znacząco na podwyższenie tła oraz, co za tym idzie, pogorszenie granic wykrywalności. Wynika stąd konieczność zastosowania elementów optycznych służących do monochromatyzacji wiązki pierwotnej, tak aby zredukować wszystkie składniki promieniowania poza promieniowaniem charakterystycznym pierwiastków próbki [7].
W spektrometrach TXRF zazwyczaj stosuje się monochromator zwierciadlany albo monochromator wielowarstwowy.
Po monochromatyzacji wiązka promieniowania pierwotnego pada na próbkę naniesioną na optycznie gładką powierzchnię reflektora. Promieniowanie padające na próbkę pod kątem mniejszym od kąta krytycznego (0,1°) ulega całkowitemu odbiciu. Oznacza to, że nie jest ono absorbowane ani w materiale próbki, ani też w reflektorze. W obszarze ponad gładką powierzchnią reflektora zachodzi interferencja wiązki padającej oraz odbitej i w tym obszarze wytwarza się fala stojąca, której węzły i strzałki leżą na płaszczyźnie równoległej do płaszczyzny reflektora. Zjawisko to przedstawiono na rysunku 2.
Rys. 2. Fala stojąca na powierzchni próbki powstająca w wyniku interferencji wiązki padającej i odbitej.
Analogiczna sytuacja następuje, gdy na reflektor zostanie naniesiona próbka. Ponieważ intensywność promieniowania w płaszczyźnie węzłowej wynosi zero, a w płaszczyźnie strzałek jest wzmocniona czterokrotnie można przyjąć, że całkowita wydajność fluorescencji ulega podwojeniu.
12