Od samego początku technika TXRF rozwijała się wielotorowo. Stosowano ją zarówno do analizy powierzchni, jak i do analizy próbek ciekłych mierzonych w postaci suchej pozostałości na optycznie gładkiej powierzchni reflektora. Równolegle produkowane były oba rodzaje spektrometrów. Jednymi z pierwszych dostępnych na rynku spektrometrów wykorzystujących zjawisko całkowitego odbicia była EXTRA zbudowana w 1980 roku przez firmę Rich. Seifert & Co. Ahrensburg, Niemcy oraz EXTRA II rozpowszechniana przez nieistniejącą już firmę Atomika Instruments. Spektrometr ten miał dwie wersje - jedną służącą do analizy wafli krzemowych oraz drugą - do analizy śladowej próbek ciekłych, wyposażony był w zmieniacz próbek i automatyczne dostrajanie położenia próbki. Następnie w 1988 roku pojawiły się spektrometry japońskich firm, a mianowicie TREX - Technos Osaka, rozpowszechniany w Europie przez firmę Philips oraz spektrometry firmy Rigaku. W chwili obecnej również firma Italstructers posiada w swojej ofercie spektrometr TXRF. Pojawiły się również instrumenty przenośne. Większość dostępnych spektrometrów przeznaczona jest do pracy w powietrzu i nie posiada komór próżniowych - wyjątkiem jest WOBISTRAX zaprojektowany i produkowany w Instytucie Atomowym w Wiedniu [8]. Schemat tego urządzenia przedstawiony jest na rysunku 4.
14