Image016

powszechnionych, które mogą być przydatne konstruktorowi przy wyborze — spośród aktualnie produkowanych układów — najbardziej odpowiednich do budowy danego urządzenia (systemu).

1.3* Technologia i konstrukcja półprzewodnikowych scalonych układów cyfrowych

Podstawowymi elementami aktywnymi cyfrowych układów scalonych są tranzystory bipolarne i unipolarne (połowę) z izolowaną bramką. Stąd też operuje się określeniami odpowiednio „układy bipolarne” i „układy unipolarne”. Technologia monolitycznych układów bipolarnych, nazywana dalej technologią bipolarną, opiera się na znanej, opracowanej przy produkcji tranzystorów bipolarnych technice epiplanarnej, a technologia monolitycznych układów unipolarnych, nazywana dalej technologią unipolarną, jest w istocie taka sama jak dla tranzystora MOS. Każda z tych technologii ma szereg wariantów (rys. 1.12). Dotych-

Podłoże.*

Materiał

podłożowy:

Tranzystory: Technologia:

Rys. 1.12. Współczesne technologie wytwarzania półprzewodnikowych układów cyfrowych

czas nie ma takiego rozwiązania technologicznego, które byłoby przydatne w wytwarzaniu układów scalonych spełniających wymagania różnych zastosowań.

W książce ograniczono się do zwięzłego przedstawienia technologii bipolarnej oraz do fragmentarycznego przedstawienia odmian technologii unipolarnej.

1.3.1. Technologia i konstrukcja bipolarnych scalonych układów cyfrowych

Konstrukcja układu scalonego obejmuje półprzewodnikowe podłoże scalające oraz wytworzone w jego objętości i na powierzchni obszary funkcjonalne elementów, obszary izolujące elementy, połączenia wewnętrzne między elementami oraz doprowadzenia zewnętrzne.