1G7

Ograniczenia badawcze SEM

Wszystkie działa elektronowe są bardzo czule próżni w kolumnie mikroskopu. Obecnoś obszarze umiejscowienia działa może do uszkodzenia i degradacji zarówno drutu jak i LaB₆. Działo kieruje wiązkę elektro kolumny z dużym napięciem przyspieszającym, zdolne zjonizować każdy atom gazu w k umożliwiając utworzenie ścieżki dla elekt wyładowań.

Figurę 2-13. The high vol(ages used in the electron gun and Everhart- Thornley secondary electron detector require a high yacuum environment.

Filamer&t

Efcoron

Catftoóe voa^«

(©g -30 kV)

Prw*K?x*>pb©r

(♦12 W)

Wohnoit voftago

(eg-30 5 W)

Elearon *crowover'

A/xxj©(0V)

Secondary

Electron

SignatOut

CoBcctor gry)

(♦300 V)

•♦•ctroo* Secondary