1H6

Ta wartość jest znacząco większa niż połowa średnicy planiki, liczona w nanometrach. Nawet przy lepszych warunkach, ograniczających rozpraszanie, gdy tylko 5% elektronów ulega zderzeniom, średnica stożka rozproszenia znacząco przewyższa średnicę zogniskowanej plamki. Skutkiem tego zjawiska jest bardzo niski poziom tla, który łatwo jest odrzucić. Ta długo jak obraz powstaje ze zogniskowanej plamki, rozdzielczość jest właściwa.

	i|
Mmimai Scattenng Regime		Partial Scattenng Regime		Compłete Scattenng Regime

Figurę 3-6. The shape of ihe beam intensity profile depends on ihe scattering regime. As scattering inereases the beam loses current to a very broadly dispersed "skin The unscattered component loses intensity but does not broaden. remaining within the original spot on the sample surface.