Pompa dyfuzyjna

Zasada działania:

Pompa dyfuzyjna jest urządzeniem, w którym pompowanie odbywa się poprzez ukierunkowany
przekaz pędu od cząstek par cieczy pompującej do cząstek pompowanego ośrodka. Ciecz pompująca (zazwyczaj jest to olej) jest podgrzewana aż do momentu osiągnięcia intensywnego parowania. Pary oleju są następnie kierowane ku dołowi pompy przez zespół dysz (patrz poniższy rysunek). Cząsteczki par poruszają się z prędkością naddźwiękową. Cząstki gazu, które wdyfundowują do strumienia par ulegają zderzeniom z cząstkami oleju. W wyniku zderzeń cząstki gazu uzyskują, średnio rzecz biorąc, pęd skierowany ku dołowi i są wstrzeliwane w obszar o powiększonym ciśnieniu. Nowoczesne pompy mają kilka stopni pompujących. Każdy stopień wpompowuje gaz do obszaru o większym ciśnieniu. Ostatecznie cząstki gazu są usuwane z ostatniego stopnia pompy dyfuzyjnej przez pompę próżni wstępnej (patrz pompa rotacyjna). Cząstki oleju uderzają w ścianki pompy chłodzone wodą lub ciekłym azotem, ulegają skropleniu i wracają do rezerwuaru. Ścianki pompy dyfuzyjnej są chłodzone w celu skroplenia par oleju.

Jednym ze zjawisk ograniczających wartość ciśnienia końcowego jakie można uzyskać przy pomocy pompy dyfuzyjnej jest tzw. strumień wsteczny. Jest to nic innego jak strumień cząstek ośrodka pompującego przemieszczający się z pompy dyfuzyjnej do pompowanej komory. Zjawisko strumienia wstecznego powstaje w wyniku parowania cieczy pompującej skroplonej na górnej części ścianek pompy, rozbieżności strumienia w górnej części pompy, ewentualnych przecieków i paru innych procesów. Zjawisko to można w znacznym stopniu ograniczyć jeżeli pompa dyfuzyjna zostanie wyposażona w odrzutnik i pułapkę par chłodzoną wodą, lub ciekłym azotem.

Zakres pracy: 10^-1 - 10⁹ Pa

Szybkość pompowania:

Uwagi: Pompa musi współpracować z pompą próżni wstępnej.

---