1F5

Większość objętości, biorącej udział w tego typu oddziaływaniu, sytuuje się w pobliżu powierzchni próbki i dlatego elektrony wtórne mogą lepiej wydostać się na powierzchnię w punktach wzniesień niż w punktach zagłębienia powierzchni. Stąd wzniesienia są jasne, a zagłębienia są ciemne na obrazie.

Elektrony odbite -(BSE) są elektronami wiązki pierwotnej, które zostały rozproszone wstecz w sposób elastyczny, na atomach próbki. Mają wysoką energię, od 50eY do wartości porównywalnej z energią wiązki pierwotnej. Ich wysoka cncrguia powoduje powstanie dużej specyficznej objętości oddziaływania **i zmniejsza rozdzielczość obrazów powstających z elektronów odbitych. Kontrast na obrazach elektronów odbitych wynika z różnic yy średniej licznie atomów od punktu tło punktu. Obrazy elektronóyy odbitych nie są łatwe yy interpretacji, jednakże dobrze zinterpretowane mogą dostrczyć informacji o kompozycji próbki.