Mikro- i nanotechnologie
 Mikro- i nanotechnologie
 2. Zagadnienia utrzymania czystości
 2. Zagadnienia utrzymania czystości
w procesach mikro- i nanotechnologii
w procesach mikro- i nanotechnologii
Prezentacja jest współfinansowana przez
Prezentacja jest współfinansowana przez
UniÄ™ EuropejskÄ… w ramach
UniÄ™ EuropejskÄ… w ramach
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
 Innowacyjna dydaktyka bez ograniczeń - zintegrowany rozwój Politechniki A
ódzkiej -
 Innowacyjna dydaktyka bez ograniczeń - zintegrowany rozwój Politechniki A
ódzkiej -
zarządzanie Uczelnią, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolności do
zarządzanie Uczelnią, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolności do
zatrudniania osób niepełnosprawnych
zatrudniania osób niepełnosprawnych
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie
Politechnika A
ódzka, ul. Żeromskiego 116, 90-924 A
ódz
, tel. [phone]
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
www.kapitalludzki.p.lodz.pl
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
2
procesach mikro- inanotechnologii
Czynniki wpływające na procesy technologiczne
Czynniki wpływające na procesy technologiczne
" Zanieczyszczenie powietrza drobinami
" Skład powietrza
" Ciśnienie
" Temperatura i wilgotność
" Poziom hałasu i wibracji
" Pole elektromagnetyczne
" Pole elektrostatyczne
Clean-room:
pełna kontrola warunków wytwarzania struktur
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
3
procesach mikro- inanotechnologii
Rodzaje zanieczyszczeń
Rodzaje zanieczyszczeń
- pojedyncze molekuły
- zanieczyszczenia powierzchniowe
- zanieczyszczenia pyłowe
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
1
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
4
procesach mikro- inanotechnologii
y
ródła zanieczyszczeń molekularnych
y
ródła zanieczyszczeń molekularnych
- gazowanie (np. podczas stygnięcia)
- pary oleju (np. z pomp dyfuzyjnych)
- alkohol
- farby, kleje, żywice
- substancje aromatyczne (obecność wyczuwalnego
zapachu jest równoznaczna z obecnością cząstek
zanieczyszczajÄ…cych)
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
5
procesach mikro- inanotechnologii
y
ródła zanieczyszczeń powierzchniowych
y
ródła zanieczyszczeń powierzchniowych
- odciski palców
- pot
- kremy do rÄ…k, twarzy
- puder
- środki czyszczące
- oleje i smary
- wosk
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
6
procesach mikro- inanotechnologii
y
ródła zanieczyszczeń pyłowych
y
ródła zanieczyszczeń pyłowych
- ludzie (skóra, włosy, oddech, włókna z odzieży)
- materiały generujące pył (tekturowe pudełka, papier)
- obróbka mechaniczna materiałów (wiercenie, cięcie,
polerowanie)
- przedmioty z niezabezpieczonego drewna
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
7
procesach mikro- inanotechnologii
Rozmiary zanieczyszczeń
Rozmiary zanieczyszczeń
Większość zanieczyszczeń jest zbyt mała,
aby można je zaobserwować okiem nieuzbrojonym.
najmniejsza czÄ…stka krytyczne
widoczna okiem zanieczyszczenie
nieuzbrojonym w clean-roomie
(50µm) (0,5µm)
wÅ‚os ludzki (100µm)
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
8
procesach mikro- inanotechnologii
Rodzaje i rozmiary zanieczyszczeń
Rodzaje i rozmiary zanieczyszczeń
dym i pył przemysłowy
pył atmosferyczny
czÄ…stki
atomy i czÄ…steczki
widoczne
dym papierosowy
pyłki kwiatów
wirusy pigment farb
bakterie
dym z kalafonii
muł
ił
0,001 0,01 0,1 1 10 100
mikrometry
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
9
procesach mikro- inanotechnologii
Zanieczyszczenia wywołane aktywnością człowieka
Zanieczyszczenia wywołane aktywnością człowieka
Generacja
Rodzaj aktywności
czÄ…stek*
Stanie / siedzenie w bezruchu 100 000
Ruch głową, dłonią 500 000
Ruch tułowiem, nogą 1 000 000
Przejście z pozycji siedzącej do stojącej 2 500 000
Chodzenie do 10 000 000
* czÄ…stki o rozmiarze powyżej 0,3µm
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
3
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
10
procesach mikro- inanotechnologii
Zanieczyszczenia wywołane aktywnością człowieka
Zanieczyszczenia wywołane aktywnością człowieka
Rozmiar
Kichanie Kasłanie
zanieczyszczeń
do 1µm 800 000 66 000
1 - 2 µm 686 000 21 000
2 - 4 µm 280 000 1 600
4 - 8 µm 134 000 1 290
8 - 16 µm 36 000 490
powyżej 16 µm 4 500 85
Razem: 1 940 000 90 765
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
11
procesach mikro- inanotechnologii
Przykłady zanieczyszczeń
Przykłady zanieczyszczeń
" Nawet najczystsze, górskie
powietrze zawiera w 1 m3 około 1
miliona różnorodnych
zanieczyszczeń o rozmiarach
powyżej 1 µm
" Obiekty o rozmiarach poniżej 10µm:
zamiast grawitacji dominuje
elektrostatyka
" Dla struktur o wymiarze rzÄ™du 1 µm
każde zanieczyszczenie o
porównywalnych rozmiarach jest
kataklizmem!
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
12
procesach mikro- inanotechnologii
Przykłady zanieczyszczeń
Przykłady zanieczyszczeń
Czerwone krwinki na module Pajęczyna na module
pamięci 1Mbit pamięci 256k DRAM
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
4
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
13
procesach mikro- inanotechnologii
Przykłady zanieczyszczeń
Przykłady zanieczyszczeń
" włosy
" skóra
" oddech
" włókna pochodzące z ubrań
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
14
procesach mikro- inanotechnologii
Przykłady zanieczyszczeń
Przykłady zanieczyszczeń
Włos na module pamięci:
256kbit 4Mbit
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
15
procesach mikro- inanotechnologii
Przykłady zanieczyszczeń
Przykłady zanieczyszczeń
Zanieczyszczenie pochodzenia
Kropla aluminium
biologicznego
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
5
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
16
procesach mikro- inanotechnologii
Definicja klasy czystości clean-roomu
Definicja klasy czystości clean-roomu
Clean-room klasy (n) jest zdefiniowany jako pomieszczenie,
w którym powietrze zawiera nie więcej niż (n) cząstek
zanieczyszczeÅ„ o rozmiarze równym lub wiÄ™kszym od 0,5µm
w jednej stopie sześciennej
gdzie n = 10 000, 1000, 100, itd.
Standardy stosowane na świecie:
USA: FED STD 209E (1992)
Japonia: B9920 (1989)
zastÄ…pione normÄ…
Australia: AS1386 (1989)
międzynarodową
Francja: X44101 (1981)
ISO 14644-1 (1997)
Wlk. Brytania: BS5295 (1989)
Niemcy: VDI2083 (1990)
Rosja: Gost R50766 (1995)
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
17
procesach mikro- inanotechnologii
Klasyfikacja wg norm amerykańskich
Klasyfikacja wg norm amerykańskich
Przykładowa klasyfikacja wg norm amerykańskich
FED STD 209E obowiÄ…zujÄ…cych do roku 2001
(ilość zanieczyszczeń w 1 stopie sześciennej):
wymiar zanieczyszczeÅ„ [µ
µm]
µ
µ
0,1 0,2 0,3 0,5 5,0
Klasa
1 35 7,5 3 1 NA
10 350 75 30 10 NA
100 NA 750 300 100 NA
1 000 NA NA NA 1 000 7
10 000 NA NA NA 10 000 70
100 000 NA NA NA 100 000 700
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
18
procesach mikro- inanotechnologii
Normy ISO dotyczące pomieszczeń clean-room
Normy ISO dotyczące pomieszczeń clean-room
Standard Nazwa
ISO-14644-1 Klasyfikacja czystości powietrza
ISO-14644-2 Zasady kontroli czystości powietrza
ISO-14644-3 Metody określania i pomiarów czystości powietrza
ISO-14644-4 Projektowanie i budowa
ISO-14644-5 Zasady pracy i działania
ISO-14644-6 Pojęcia, definicje, jednostki miar
ISO-14644-7 Inne, niezależne od cleanroom u urządzenia
ISO-14644-8 Zanieczyszczenia i skażenia
ISO-14698-1 Biozanieczyszczenia: generalne zasady postępowania
ISO-14698-2 Biozanieczyszczenia: określanie zanieczyszczeń
ISO-14698-3 Biozanieczyszczenia: pomiar efektywności urządzeń czyszczących
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
6
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
19
procesach mikro- inanotechnologii
Normy ISO
Normy ISO
Liczba drobin w 1 m3 powietrza
Klasa
0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5 um 1 um 5 um
ISO 1 10 2
ISO 2 102 24 10 4
ISO 3 103 2.37*102 1.02*102 35 8
ISO 4 104 2.37*103 1.02*103 3.52 *102 83
ISO 5 105 2.37*104 1.02*104 3.52 *103 8.32 *102 29
ISO 6 106 2.37*105 1.02*105 3.52 *104 8.32 *103 2.93 *102
ISO 7 3.52 *105 8.32 *104 2.93 *103
ISO 8 3.52 *106 8.32 *105 2.93 *104
ISO 9 3.52 *107 8.32 *106 2.93 *105
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
20
procesach mikro- inanotechnologii
Porównanie norm ISO i FED
Porównanie norm ISO i FED
ISO 14644-1 (1997) FED STD 209E (1992)
Klasa ISO Jedn. angielskie Jedn. metryczne
1
2
3 1 M1.5
4 10 M2.5
5 100 M3.5
6 1 000 M4.5
7 10 000 M5.5
8 100 000 M6.5
9
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
21
procesach mikro- inanotechnologii
Wymiar charakterystyczny a klasa czystości
Wymiar charakterystyczny a klasa czystości
Rok 1980 1984 1987 1990 1993 1996 1999 2000
Wymiar
2um 1.5um 1um 0.8um 0.5um 0.35um 0.25um 0,13um
charakterystyczny
Powierzchnia
0.3cm2 0.4cm2 0.5cm2 0.9cm2 1.4cm2 2.0cm2 3.0cm2 >4cm2
układu
Liczba procesów 100 150 200 300 400 500 600 >700
Klasa czystości ISO 8 ISO 7 ISO 6 ISO 5 ISO 4 ISO 3 ISO 2 ISO 1
Krytyczny rozmiar
0.12um 0.09um 0.05um 0.03um 0.02um
zanieczyszczenia
Krytyczny rozmiar
0.27um 0.18um 0.1um 0.06u 0.03um
defektu
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
7
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
22
procesach mikro- inanotechnologii
Koncepcja pomieszczenia typu clean-room
Koncepcja pomieszczenia typu clean-room
" ciągła, wielostopniowa filtracja
wtłaczanego powietrza począwszy od
filtrów wstępnych po filtry HEPA (High
Efficiency Air Filters) bÄ…dz
ULPA (Ultre
Low Penetration Air)
" stałe nadciśnienie wewnątrz
pomieszczeń (ok. 30Pa)  brak
możliwości przedostawania się
zanieczyszczeń z zewnątrz
" śluza wejściowa
" w celu utrzymania stałego składu
atmosfery dodawane jest od 2 do 10%
świeżego powietrza
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
23
procesach mikro- inanotechnologii
Filtry
Filtry
" HEPA (High Efficiency
Air Filters) 
skuteczność do 99.97%
dla czÄ…stek > 0,3µm
" ULPA (Ultre Low
Penetration Air) 
skuteczność do
99,9995% dla czÄ…stek
> 0,12 µm
http://en.wikipedia.org/wiki/HEPA
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
24
procesach mikro- inanotechnologii
Parametry powietrza w clean-roomie
Parametry powietrza w clean-roomie
Niezależnie od pory roku i pory dnia:
" temperatura 22 Ä… 0.1 ºC w pomieszczeniach
litografii i pomiarowych, 22 Ä… 0.5 ºC w
pozostałych pomieszczeniach
" wilgotność 43% ą 2% w pomieszczeniach
litografii i pomiarowych, 43% Ä… 5% w
pozostałych pomieszczeniach
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
8
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
25
procesach mikro- inanotechnologii
Pozostałe parametry
Pozostałe parametry
" Poziom hałasu ograniczony do poziomu nie
przekraczajÄ…cego 60 dB.
" Wibracje z zakresu 8  100 Hz nie powinny
przekraczać 3µm/s
" Ekranowanie całego pomieszczenia i stref wewnątrz na
zasadzie klatki Faraday a
" Eliminacja ryzyka powstania niebezpiecznego pola
elektrostatycznego poprzez uziemianie maszyn,
kontrolę wilgotności, system jonizacji powietrza oraz
wykorzystanie przewodzących materiałów do
konstrukcji laboratorium.
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
26
procesach mikro- inanotechnologii
Instalacje w clean-roomie
Instalacje w clean-roomie
" System oczyszczania powietrza
" System zasilania oraz chłodzenia urządzeń
" Zasilanie w wodÄ™ zimnÄ… (14& 18 ºC)
" Zasilanie w wodÄ™ gorÄ…cÄ… (~70 ºC)
" System dejonizacji wody (rezystywność powyżej 16M&!)
" System doprowadzający czyste odczynniki płynne (m.in. gazy
technologiczne o czystości >5N)
" System odprowadzania i neutralizacji zużytych odczynników
płynnych (gazy, ciecze po procesach produkcyjnych)
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
27
procesach mikro- inanotechnologii
Turbulentny przepływ powietrza
Turbulentny przepływ powietrza
z
ródło: Cleanroom Design, W. Whyte, J. Wiley 2001
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
9
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
28
procesach mikro- inanotechnologii
Laminarny przepływ powietrza
Laminarny przepływ powietrza
z
ródło: Cleanroom Design, W. Whyte, J. Wiley 2001
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
29
procesach mikro- inanotechnologii
Lokalne podwyższenie czystości
Lokalne podwyższenie czystości
z
ródło: Cleanroom Design, W. Whyte, J. Wiley 2001
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
30
procesach mikro- inanotechnologii
Lokalne podwyższenie czystości
Lokalne podwyższenie czystości
z
ródło: Cleanroom Design, W. Whyte, J. Wiley 2001
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
10
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
31
procesach mikro- inanotechnologii
Clean-room  szczegóły pomieszczeń
Clean-room  szczegóły pomieszczeń
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
32
procesach mikro- inanotechnologii
Strefa biała i szara
Strefa biała i szara
Strefa biała jest obszarem o założonej
czystości  jej powierzchnia jest ograniczana do
niezbędnego minimum ze względów
ekonomicznych
Strefa  szara wokół clean-roomu obejmuje
zaplecze techniczne: urzÄ…dzenia wspomagajÄ…ce,
elementy urządzeń technologicznych,
instalacje wodne, powietrzne itp.
Śluza wejściowa umożliwia zakładanie ubioru
ochronnego i zabezpiecza przed
zanieczyszczeniem laboratorium podczas wejść i
wyjść personelu
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
33
procesach mikro- inanotechnologii
Clean-room - przekrój
Clean-room - przekrój
Clean-room klasy ISO3 (Siemens)
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
11
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
34
procesach mikro- inanotechnologii
Clean-room  strefa szara
Clean-room  strefa szara
System pomp Instalacja wodna
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
35
procesach mikro- inanotechnologii
System dejonizacji wody
System dejonizacji wody
" Oczyszczanie wody dla potrzeb mikrotechnologii:
" uzdatnianie wstÄ™pne, filtr mechaniczny 50µm (1,2)
" odwrócona osmoza (3-11)
" moduł elektrodejonizacji z komorą UV (12)
" cela konduktometryczna (13)
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
36
procesach mikro- inanotechnologii
Ubranie ochronne
Ubranie ochronne
- wykonywane z poliestru (bez  kłaczków ), z nicią
przewodzÄ…cÄ…
- dopasowane do wzrostu / wagi
- przykrywające maksymalną powierzchnię ciała
- wyposażone w ściągacze na końcach rękawów,
nogawek
- bez kieszeni, pasków
- kolejność zakładania: kombinezon - ochraniacze
obuwia - nakrycie głowy - maska twarzowa 
okulary  rękawice
- tylko do użytku w clean-roomie
(zakładanie/zdejmowanie w odpowiednim
pomieszczeniu)
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
12
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
37
procesach mikro- inanotechnologii
Ubranie ochronne
Ubranie ochronne
http://www.ee.byu.edu/cleanroom/gowning.phtml?gowning-see-all=true
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
38
procesach mikro- inanotechnologii
Zasady pracy w clean-roomie
Zasady pracy w clean-roomie
" Wejście tylko w prawidłowo założonym kombinezonie ochronnym
" Zakaz picia, jedzenia, żucia gumy, palenia papierosów
" Zakaz noszenia ozdób (naszyjniki, pierścionki), używania niektórych
kosmetyków
" Ograniczenie wykonywania szybkich ruchów
" Nie zakłócanie obiegu powietrza (np. poprzez nieprzemyślane
zastawienie nawiewów/wyciągów)
" Minimalizacja ilości materiałów przechowywanych w clean-romie
" Zakaz używania ołówków, gumek, przedmiotów z drewna, zwykłego
papieru, styropianu, wszelkiego rodzaju materiałów sproszkowanych
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
39
procesach mikro- inanotechnologii
Stosowane materiały
Stosowane materiały
Elementy stykające się z płytkami:
" kwarc, polikrzem (wysokie temperatury)
" teflon (mycie, trawienie)
" polerowana stal nierdzewna (pęsety
elementy ciśnieniowe, próżniowe, blaty)
Sufity, ściany,
podłogi, ubrania:
" antyelektrostatyczne
" bezpyłowe
" o gładkiej powierzchni
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
13
2. Zagadnienia utrzymania czystości w
40
procesach mikro- inanotechnologii
Skutki obecności zanieczyszczeń w mikrotechnologii
Skutki obecności zanieczyszczeń w mikrotechnologii
Dyslokacje Przestrzenne
" Dyslokacje, zaburzenia Defekty
powierzchniow zaburzenia WtrÄ…cenia
punktowe
przestrzenne  zwarcia złączy p-n, e sieci
zaburzenia przepływu nośników
Å‚adunku
" WtrÄ…cenia, defekty punktowe 
skracanie czasu życia nośników
mniejszościowych i degradacja
charakterystyk przyrządów
Wywołane
WtrÄ…cenie
" Pojedyncze wtrÄ…cenia w wyniku
zaburzenie
(metal)
sieci
powtarzanych wielokrotnie cykli
termicznych mogą powodować
rozległe defekty przestrzenne
" Atomy metali (Fe, Ni, Cr, Cu, Au,
Pt) na powierzchni  m.in.
degradacja obszarów bramkowych
tranzystorów MOS
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
 Mikro- i nanotechnologie
 Mikro- i nanotechnologie
 2. Zagadnienia utrzymania czystości
 2. Zagadnienia utrzymania czystości
w procesach mikro- i nanotechnologii
w procesach mikro- i nanotechnologii
Prezentacja jest współfinansowana przez
Prezentacja jest współfinansowana przez
UniÄ™ EuropejskÄ… w ramach
UniÄ™ EuropejskÄ… w ramach
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
Europejskiego Funduszu Społecznego w projekcie pt.
 Innowacyjna dydaktyka bez ograniczeń - zintegrowany rozwój Politechniki A
ódzkiej -
 Innowacyjna dydaktyka bez ograniczeń - zintegrowany rozwój Politechniki A
ódzkiej -
zarządzanie Uczelnią, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolności do
zarządzanie Uczelnią, nowoczesna oferta edukacyjna i wzmacniania zdolności do
zatrudniania osób niepełnosprawnych
zatrudniania osób niepełnosprawnych
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie
Prezentacja dystrybuowana jest bezpłatnie
Politechnika A
ódzka, ul. Żeromskiego 116, 90-924 A
ódz
, tel. [phone]
Projekt współfinansowany przez Unię Europejską
www.kapitalludzki.p.lodz.pl
w ramach Europejskiego Funduszu Społecznego
14